| 主权项 |
1.一种可变电容器,系可使相对之电极移动者,包含 有: 基板; 可动电极,系具有第1电极部及第2电极部;及 多数压电致动器,系用以驱动前述可动电极者; 其中前述可动电极相对设置而构造成电容器,并将 前述可动电极与信号垫导电连接; 又,前述多数压电致动器各自具有驱动电极及设于 该驱动电极间之压电元件,且前述驱动电极与前述 可动电极为个别之个体。 2.如申请专利范围第1项之可变电容器,其中前述可 动电极系具有前述第1电极部及前述第2电极部,且 使前述可动电极呈上下设置者。 3.如申请专利范围第1或2项之可变电容器,其中前 述可动电极之第1电极部两侧设置前述压电致动器 ,藉前述第1电极部及前述压电致动器之驱动电极, 构造成一CPW型线路者。 4.如申请专利范围第1或2项之可变电容器,其中前 述可动电极之相对之前述第2电极部间设有介电体 层者。 5.如申请专利范围第1或2项之可变电容器,其中前 述可动电极中之至少一方与接地电极相连接者。 6.如申请专利范围第1或2项之可变电容器,其中前 述可动电极之任一方的前述第1电极部与前述第2 电极部间之境界部近旁系呈电性分离者。 7.一种可变电容器,系包含有: 可沿其相对方向移动之可动电极;及 用以驱动前述可动电极之多数压电致动器; 其更具有一用以对前述可动电极间施加电压之电 压施加装置, 俾构建成在于前述压电致动器之驱动,使前述可动 电极接近之状态下,藉前述电压施加装置,将电压 施加于前述可动电极间者。 8.一种可变电容器之制造方法,该可变电容器系如 申请专利范围第1项所记载,可藉压电致动器的驱 动使电极移动者,该方法系包含有以下步骤,即: 在基板上形成多数前述压电致动器之步骤; 在前述基板形成具有第1电极部及第2电极部之可 动电极之步骤; 形成一用以于前述可动电极间形成间隙之牺牲层 之步骤; 将前述牺牲层除去之除去步骤;及 将除前述多数前述压电致动器之端部及前述可动 电极之第1电极部之端部之外的部分由前述基板切 离之切离步骤。 9.一种可变电容器之制造方法,该可变电容器系如 申请专利范围第4项所记载,可藉压电致动器的驱 动使电极移动者,该方法系包含有以下步骤,即: 在基板上形成多数前述压电致动器之步骤; 在前述基板形成具有第1电极部及第2电极部之可 动电极之步骤; 在前述可动电极间形成介电体层之步骤; 形成一用以于前述可动电极之任一方与前述介电 体层间形成间隙之牺牲层之步骤; 将前述牺牲层除去之除去步骤;及 将除前述多数前述压电致动器之端部及前述可动 电极之第1电极部之端部之外的部分由前述基板切 离之切离步骤。 10.如申请专利范围第8或9项之可变电容器之制造 方法,其中前述除去步骤及前述切离步骤系同时进 行者。 图式简单说明: 第1(a)图系显示习知可变电容器之结构的剖视图。 第1(b)图系显示习知可变电容器之结构的俯视图。 第2图系显示电容器之静电容量及电极间距离之关 系的线图。 第3图系第1实施形态之可变电容器之立体图。 第4图系第1实施形态之可变电容器之分解立体图 。 第5图系第3图之B-B线及C-C线处之剖视图。 第6(a)-6(e)图系剖视图,显示第1实施形态之可变电 容器之制造步骤者。 第7(f)-7(j)图系剖视图,显示第1实施形态之可变电 容器之制造步骤者。 第8(a)-8(c)图系剖视图,显示第1实施形态之可变电 容器之制造步骤的变形例者。 第9图系第1实施形态之可变电容器之变形例的分 解立体图。 第10图系第2实施形态之可变电容器之分解立体图 。 第11(a)-11(e)图系第2实施形态之可变电容器之制造 步骤的剖视图。 第12(f)-12(j)图系剖视图,显示第2实施形态之可变电 容器之制造步骤者。 第13图系第3实施形态之可变电容器(只有可动电极 及压电致动器)之分解立体图。 第14(a)-14(d)图系剖视图,显示第3实施形态之可变电 容器之制造步骤的一形态者。 第15(a)-15(e)图系剖视图,显示第3实施形态之可变电 容器之制造步骤的另一形态者。 第16(a)图系第3实施形态之可变电容器之概略结构 图。 第16(b)图系显示压电致动器之变位及静电容量之 关系的线图。 第17(a)图系第4实施形态之可变电容器之俯视图。 第17(b)图系第17(a)图之D部中之扩大图。 第18图系第5实施形态之可变电容器之俯视图。 第19(a)图系显示并联式双压电晶片型之压电致动 器之图。 第19(b)图系显示串联式双压电晶片型之压电致动 器之图。 |
