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发明名称
摘要
申请公布号	JP3123575(U)	申请公布日期	2006.07.20
申请号	JP20060003485U	申请日期	2006.05.10
申请人		发明人
分类号	A43B13/26;A43B5/00;A43B13/14;(IPC1-7):B05C11/10;H01L21/30;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027	主分类号	A43B13/26
代理机构		代理人
主权项
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