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经营范围
发明名称
Passivation of anodic bonding regions in microelectromechanical systems
摘要
申请公布号
EP1270507(B1)
申请公布日期
2006.07.19
申请号
EP20010128680
申请日期
2001.12.01
申请人
X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG
发明人
KNECHTEL, ROY, DR.;FREYWALD, KARLHEINZ
分类号
B81B7/00;B81C1/00
主分类号
B81B7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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