发明名称 Passivation of anodic bonding regions in microelectromechanical systems
摘要
申请公布号 EP1270507(B1) 申请公布日期 2006.07.19
申请号 EP20010128680 申请日期 2001.12.01
申请人 X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG 发明人 KNECHTEL, ROY, DR.;FREYWALD, KARLHEINZ
分类号 B81B7/00;B81C1/00 主分类号 B81B7/00
代理机构 代理人
主权项
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