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发明名称
一整体式高真空帮浦
摘要
本发明系关于具有相关旁路管路与若干阀之TMP之整合,藉此产生一单个副总成。该TMP之外壳被有效地改进以容纳用于架构一高真空系统所必需之相关设备。
申请公布号
TW200624675
申请公布日期
2006.07.16
申请号
TW094127250
申请日期
2005.08.11
申请人
BOC集团公司
发明人
麦克S 柏格;戴姆辛 保罗 墨菲;克理斯多夫M 拜利;榎本良弘
分类号
F04D25/00;H01L21/00
主分类号
F04D25/00
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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