发明名称 ETCHING SOLUTION FOR D-DEFECT IN SILICON WATER HAVING LOW RESISTIVITY, AND EVALUATION METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060078706(A) 申请公布日期 2006.07.05
申请号 KR20040117394 申请日期 2004.12.30
申请人 SILTRON INC. 发明人 KIM, YOUNG HUN;LEE, SEUNG WOOK;PARK, YOUNG CHANG
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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