标记位置检测装置及偏位检测装置

摘要

本发明的目的在于提供一种标记位置检测装置及偏位检测装置，不论标记的种类为何，能够定义出适合该标记的形状之讯号处理范围。因此，针对用来检测至少具有1条的线状图案之标记的位置之标记检测装置，设置：用来获取标记的画像之取得手段18、19、21；用来对于被取得的画像，设定用来定义讯号处理范围之定义框之设定手段22、24、25；和藉由将利用该定义框而被设定的部分，作讯号处理，来检测标记的位置之检测手段。进而，设定手段，可以将对于线状图案之定义框，设成分离在线状图案上的2个部分。