奈米生化感测元件及其制造方法

摘要

一种奈米生化感测元件及其制造方法。首先，于基板上形成绝缘层，然后于绝缘层上形成半导体薄膜。之后，定义此半导体薄膜并对其进行掺杂，以形成奈米线、位于奈米线两端的源极与汲极以及位于奈米线之一侧的侧边闸极，如此以完成奈米生化感测元件之制作。由上述之方法所制成之奈米生化感测元件，可以改善检测时的误差，并提升感测元件的敏感度。