近光学式材料处理装置

摘要

一种近光学式材料处理装置，包括有第一镜面及第二镜面。第一镜面系为弧面，并且具有位于腔体距离上之焦点，第一镜面开设有耦合孔，以使外部微波源输入之高功率微波，经耦合孔而沿腔体距离输出为高场强微波束，而第二镜面与第一镜面一同形成近光学作用腔，并且彼此可相对地移动，而调整两者间之腔体距离总长，而使待处理材料行经腔体距离上之高场强微波束的聚焦区(约是高场强微波束的一个波长)，以快速地进行均匀的材料热处理。