发明名称 |
基于线性模型的离轴信号处理方法 |
摘要 |
本发明公开了一种基于线性模型的离轴信号处理方法,其特征在于:信号的拟合处理过程分为RTR(realtimereduce/实时处理)和FPS(fast parameter solve/快速参数解析)两个执行步骤。其有益效果是,在光刻领域首度采用了实时信号处理方法,并将拟合的线性相关度应用到该特殊领域,能够实时精确地得到信号的暗电流,振幅和相位,确保对准位置的计算精度,在很大程度上提高了信号处理结果的可靠性,大大提高了光刻机的生产效率。 |
申请公布号 |
CN1794090A |
申请公布日期 |
2006.06.28 |
申请号 |
CN200510030807.0 |
申请日期 |
2005.10.27 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
宋海军 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
1.一种基于线性模型的离轴信号处理方法,包括以下步骤:(a)确定包含暗电流,正弦系数和余弦系数的线性拟合模型;(b)进行离轴对准扫描,获取位置采样信号和光强采样信号,并将采样信号传送至DSP(数字信号处理器)进行处理;(e)计算出拟合的线性相关度的值R;(f)将计算出来的拟合相关度R和预设最小阈值min R进行比较,如果比较结果是拟合相关度R大于min R,则进行步骤(g),否则向对准执行层软件返回错误; (g)通过正弦系数和余弦系数的值来计算得到信号的振幅和相位;其特征在于:信号的拟合处理过程分为RTR(real timereduce/实时处理)和FPS(fast parameter solve/快速参数解析)两个执行步骤,这两个步骤介于b与e之间:(c)DSP对接收到的每一组采样信号进行RTR,信号的RTR过程与信号的采样采用实时并行的处理过程,即信号的RTR过程从接收到第一组采样信号以后就开始进行,在接收到最后一组采样信号后的极短时间内完成;(d)当信号的RTR结束后,DSP开始进行信号的FPS以获得暗电流,正弦系数和余弦系数的值。 |
地址 |
201203上海市张江高科技园区张东路1525号 |