发明名称 |
一种具有成份梯度分布的铁电薄膜及其制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种具有成份梯度分布的高铁电性能的铁电薄膜及其制备方法领域。本发明采用溶胶-凝胶方法,取不同比例的前驱体溶液,采用旋转涂覆的方法涂层,并严格控制反应前驱体溶液的浓度为0.2~0.4m,衬底采用LaNiO<SUB>3</SUB>/Pt/Ti/SiO<SUB>2</SUB>/Si和Pt/Ti/SiO<SUB>2</SUB>/Si。所制备的钛酸锶铅(PST)是具有成份梯度的铁电薄膜,其介电常数和饱和极化强度与一般铁电薄膜相比都得到了很大提高。 |
申请公布号 |
CN1789198A |
申请公布日期 |
2006.06.21 |
申请号 |
CN200410093054.3 |
申请日期 |
2004.12.15 |
申请人 |
同济大学 |
发明人 |
翟继卫;姚熹;沈波 |
分类号 |
C04B35/462(2006.01);C04B35/47(2006.01);C04B35/472(2006.01);C23C18/00(2006.01) |
主分类号 |
C04B35/462(2006.01) |
代理机构 |
上海光华专利事务所 |
代理人 |
余明伟 |
主权项 |
1、一种具有成份梯度分布的高铁电性能的铁电薄膜材料,含有Pb1-xSrxTiO3,其中X为0.1~0.7。 |
地址 |
200092上海市四平路1239号 |