曝光方法及曝光装置

摘要

【课题】在由光阻剂层等对光具有灵敏度的感光层所叠层之印刷电路板等记录媒体上将图案曝光时，在保持感光层之密接性下，防止无法除去感光层或感光层之容易剥离。【解决方式】利用曝光装置3将配线图案曝光于在基板上所形成之光阻剂层时，使照射于配线图案的边缘区域之光的照射能量，比照射于边缘区域以外之其他的区域之光的照射能量更大。