遮罩及一半导体元件之制造方法以及一使用该遮罩之薄膜电晶体阵列面板

摘要

提供有一曝光遮罩，其包含：一阻挡入射光的遮光不透明区域；一半透明区域；以及一通过大部分入射光的透明区域，其中该半透明区域产生约–70°至约＋70°范围内之相差。