微振荡元件

摘要

本发明提供一种微振荡元件，其由材料衬底一体地形成，该材料衬底由第一导电层、第二导电层以及置于第一导电层和第二导电层之间的绝缘层制成。该微振荡元件包括：振荡部件、振荡部件支撑框架以及扭转接合部件。该振荡部件包括可移动操作部件。该扭转接合部件将该振荡部件与该框架接合，还限定用于该振荡部件作振荡运动的振荡轴。该可移动操作部件是形成在该第一导电层中的一部分，而该框架是形成在该第二导电层中的一部分。

主权项

1.一种微振荡元件，其由材料衬底一体地形成，该材料衬底由第一导电层、第二导电层以及置于该第一导电层和该第二导电层之间的绝缘层制成，该微振荡元件包括：振荡部件，其包括可移动操作部件；振荡部件支撑框架；扭转接合部件，其用于将该振荡部件与该框架接合，该接合部件限定用于该振荡部件作振荡运动的振荡轴；其中，该可移动操作部件是形成在该第一导电层中的一部分，该框架是形成该第二导电层中的一部分。