热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积方法及装置

摘要

热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积方法及装置，属微波低温等离子体领域。本发明方法包括利用电子回旋共振系统中的微波源、磁场线圈在谐振腔内产生电子回旋共振的等离子体，特征在于，在谐振腔出口与沉积室的样片台之间，增加对等离子体产生热辐射的热丝单元，促使等离子体中的气体更充分分解，且环位于等离子体之外，不会阻碍薄膜沉积。装置特征：在谐振腔10出口与沉积室11内的样片台12之间设置促使气体充分分解的热丝单元，该热丝单元由置于沉积室11的热丝环15，固定热丝环15的夹持电极16，真空封装电极17及置于沉积室11外的热丝电源18组成，沉积室11内的等离子体23从热丝环15中穿过。本发明较好地解决等离子体中气体及基团分解不充分问题。

主权项

1、热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积方法：包括有利用电子回旋共振系统中的微波源、磁场线圈在谐振腔内产生电子回旋共振的等离子体，这一等离子体经谐振腔出口进入沉积室，用于对样件进行薄膜沉积，其特征在于，在谐振腔出口与沉积室的样片台之间，增加一个可对等离子体产生强烈热辐射的热丝单元，促使等离子体中的气体更为充分地分解；并且热丝环位于等离子体之外，不会阻碍薄膜的沉积。