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发明名称 MEASUREMENT METHOD OF DEPOSITION THICKNESS, FORMATION METHOD OF MATERIAL LAYER, DEPOSITION THICKNESS MEASUREMENT DEVICE AND MATERIAL LAYER FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060043310(A) 申请公布日期 2006.05.15
申请号 KR20050017176 申请日期 2005.03.02
申请人 SANYO ELECTRIC CO., LTD. 发明人 TANASE KENJI;ISHIDA HIROKI
分类号 G01B11/06;C23C14/12;C23C14/26;C23C14/54;C23C16/00;H05B33/10;H05B33/14 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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