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发明名称
Z AXIS DIRECTION LEVITATION DEVICE
摘要
申请公布号
KR20060036978(A)
申请公布日期
2006.05.03
申请号
KR20040086061
申请日期
2004.10.27
申请人
MICRO MOTION TECHNOLOGY CO., LTD.
发明人
PARK, HYUNG CHAE;LEE, JAE JUNG
分类号
B23Q5/26;B23Q16/00
主分类号
B23Q5/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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