发明名称 用于光刻胶的感光树脂组合物
摘要 本发明涉及一种用作光刻胶的感光树脂组合物,特别涉及一种用于光刻胶的感光树脂组合物,该组合物包括:通过选择使用特定的化合物或控制未反应单体的比例以获得的丙烯酸酯共聚物,和1,2-二叠氮醌化物。该组合物在几方面性能优异,如:介电特性、平滑度、透明性、显影性能、残膜率、耐化学品性和耐热性,以及灵敏度和分辨率。特别是它促进夹层电介质中的图案易于形成,此外,由于甚至在制为厚膜时仍具有优异的透射率,它可在LCD制造过程中用作光刻胶。
申请公布号 CN1766732A 申请公布日期 2006.05.03
申请号 CN200510090790.8 申请日期 2002.08.20
申请人 东进瑟弥侃株式会社 发明人 金柄郁;赵俊衍;权京一;朴洙晶;俞载元
分类号 G03F7/004(2006.01);G03F7/008(2006.01);G03F7/012(2006.01) 主分类号 G03F7/004(2006.01)
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 代理人 王琦;宋志强
主权项 1、一种感光树脂组合物,包括:(A)100重量份的如下物质的丙烯酸类共聚物:i)5~40wt%的不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物;ii)10~70wt%的包含环氧基团的不饱和化合物;和iii)10~70wt%的烯属不饱和化合物;其中未反应单体和聚合引发剂的范围是5%或更小,由GPC分析确定,按照聚苯乙烯计算的该共聚物重均分子量是5,000~20,000;和(B)5~100重量份的1,2-二叠氮醌化物化合物。
地址 韩国仁川市
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