| 摘要 |
本发明的课题在于可在不加大清洗装置的情况下，确实地去除附着于晶圆、玻璃、金属等上的有机物或异物。其解决手段在于具备：放射性气体生成手段，其包括第1加热手段(3)和第2加热手段(4)，该第1加热手段(3)用以对液体加热而生成蒸气，该第2加热手段(4)用以藉由对由该第1加热手段(3)生成的蒸气进一步加热，制造次临界的放射性气体；气体喷射手段(5)，其将藉由该放射性气体生成手段(2)制造的放射性气体喷射到被清洗物上；以及清洗液供给手段(6)，其用以在被清洗物上形成清洗水的被覆膜；其中，藉由放射性气体生成手段(2)生成次临界的放射性气体，同时在藉由运送手段运送来的被清洗物上形成清洗水的被覆膜，将上述放射性气体从该清洗水的被覆膜吹到上述被清洗物上。 |
