| 主权项 |
1.一种用于被覆层显像之界面活性剂水溶液,其系 藉由可在光阻图案上施行被覆层,且由被覆层的交 联使光阻图案变粗,由显像液除去未交联被覆层而 微细化图案之图案形成方法,其用于被覆层显像之 界面活性剂水溶液中包含作为显像液使用之界面 活性剂及水或水与有机溶剂之混合物,该界面活性 剂为至少一种选自于具有碳原子数10至14之醯基的 N-醯基肌胺酸酯、N-醯基-N甲基胺基丙胺酸酯、N- 醯基牛磺酸酯、N-醯基-N-甲基牛磺酸酯、以及脂 肪酸烷基醇醯胺及脂肪酸烷基醇醯胺聚环氧乙烷 加成物,界面活性剂之浓度为0.01~10.0重量%,水或水 与有机溶剂之混合物为90.0~99.9重量%,且水与有机 溶剂之混合物中,水:有机溶剂之混合比为80:20至99: 1,其中N-醯基肌胺酸酯、N-醯基-N甲基按基丙胺酸 酯、N-醯基牛磺酸酯、N-醯基-N-甲基牛磺酸酯之相 对离子为有机胺或有机胺盐。 2.如申请专利范围第1项之用于被覆层显像之界面 活性剂水溶液,其中界面活性剂选自N-月桂醯基肌 胺酸酯、N-月桂醯基-N甲基胺基丙胺酸酯、N-月桂 醯基牛磺酸酯、N-月桂醯基-N-甲基牛磺酸酯中至 少1种。 3.如申请专利范围第1项之用于被覆层显像之界面 活性剂水溶液,其中脂肪酸烷基醇醯胺及脂肪酸烷 基醇醯胺聚环氧乙烷加成物中的脂肪酸碳数为6至 22,烷基醇醯基之碳数为1至3,脂肪酸烷基醇醯胺聚 环氧乙烷加成物中之具羟基乙烯链之重复单位数 为10以下。 4.如申请专利范围第1至3项中任一项之用于被覆层 显像之界面活性剂水溶液,其中有机溶剂为由1至8 碳原子数之饱和或不饱和醇、羟基数为2或3之饱 和多元醇、1至3碳原子数之饱和或不饱和烷基胺 、1至3碳原子数之饱和或不饱和烷基醇醯胺中至 少1种所构成者。 5.一种图案形成方法,其特征在施行被覆层于光阻 图案,并以被覆层之交联来使光阻图案变粗,并由 以显像剂来除去未交联被覆层,在来细微化图案之 图案形成方法中,使用申请专利范围第1至4项中任 一项之用于被覆层显像之界面活性剂水溶液作为 显像剂。 图式简单说明: 第1图 存在显像残渣之接触空穴图案的显微摄影 照片。 第2图 存在显像残渣之线与空隙图案的显微摄影 照片。 |
