| 发明名称 | 控制光刻胶组合物溶解速率差的方法 | ||
| 摘要 | 提供一种光刻胶组合物，其包括一种聚合物，该聚合物包括至少一种具有所需外型异构体摩尔百分数的多环烯烃重复单元，其中该重复单元来自具有所需外型异构体摩尔百分数的多环烯烃单体。具有这类有所需外型异构体摩尔百分数的重复单元的聚合物能够控制溶解速率差，从而提高成像性能。还提供具有所需外型异构体摩尔百分数的例示性单体。 | ||
| 申请公布号 | CN1764873A | 申请公布日期 | 2006.04.26 |
| 申请号 | CN200480007786.4 | 申请日期 | 2004.02.23 |
| 申请人 | 普罗米鲁斯有限责任公司;国际商业机器公司 | 发明人 | L·F·罗兹;常春;L·J·兰斯多夫;H·A·西达维;伊藤洋 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01);G03F7/30(2006.01) | 主分类号 | G03F7/039(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 龙传红 |
| 主权项 | 1、一种光刻胶组合物，其包括聚合物，该聚合物包括至少一种具有所需外型异构体摩尔百分数的多环烯烃衍生型重复单元。 | ||
| 地址 | 美国俄亥俄 | ||