| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60209065(D1) |
申请公布日期 |
2006.04.20 |
| 申请号 |
DE20026009065 |
申请日期 |
2002.09.05 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. |
发明人 |
NODA, TAIJI |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L29/78;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/10 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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