| 发明名称 |
Methods and apparatus for sputtering |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2419138(A) |
申请公布日期 |
2006.04.19 |
| 申请号 |
GB20050021001 |
申请日期 |
2005.10.17 |
| 申请人 |
TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED |
发明人 |
MARK ASHLEY FORD;RAJKUMAR JAKKARAJU |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/54;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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