利用动态阻抗之即时估测的直流电源供应器

摘要

本发明提供一种用于控制直流磁控管电浆处理系统之装置及方法，其依据负载之动态阻抗而自动地调整至电源供应器之控制信号。供应功率至电浆之电源供应器的输出电压及输出电流系于一比切换频率更高至少4至5倍的取样频率下取样；且该电浆之动态阻抗系依据经取样之电压及电流计算于算式 其中Vn及In系一切换周期上之样本间的最大差异；若所见到之动态阻抗在本质上为负时，则据此补偿该控制信号。