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发明名称 CMP SYSTEME UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG VON AMINOENTHALTENDEN POLYMERISATEN
摘要
申请公布号 AT321106(T) 申请公布日期 2006.04.15
申请号 AT20030731907T 申请日期 2003.01.13
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 MOEGGENBORG, KEVIN.J;CHERIAN, ISAAC K.;BRUSIC, VLASTA
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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