| 发明名称 | 用于校准晶片运送机器人的视觉系统和方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于校准机器人运动的视觉系统和方法，该机器人放置在处理系统中。在一个实施例中，用于处理系统的视觉系统包括一个照相机和一个放置在处理系统中的校准晶片。照相机位于机器人上，且适于获取放置在处理系统中一个预定位置上的校准晶片的图像数据。该图像数据被用于对机器人的运动进行校准。 | ||
| 申请公布号 | CN1759478A | 申请公布日期 | 2006.04.12 |
| 申请号 | CN200480006406.5 | 申请日期 | 2004.03.09 |
| 申请人 | 应用材料有限公司 | 发明人 | I·萨迪吉;J·赫金斯;M·赖斯;G·维卡 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);H01L21/00(2006.01);B25J9/16(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 1.一种用于半导体处理系统的视觉系统，其包括：至少一个用于半导体处理系统中的机器人；一个被支撑在所述处理系统中的校准晶片；一个连接到所述机器人的末端执行器；一个通过所述机器人有选择地放置的照相机；一个连接到所述照相机的发射器；以及一个接收器，用于接收所述照相机传输的、所述校准晶片的图像。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||