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发明名称
METHOD FOR MEASURING THIN FILM PROPERTIES USING INDENTER
摘要
申请公布号
KR100567847(B1)
申请公布日期
2006.04.05
申请号
KR20030035137
申请日期
2003.05.31
申请人
发明人
分类号
G01N3/40
主分类号
G01N3/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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