FILM FORMING MATERIAL, FILM FORMING METHOD AND DEVICE,申请号KR20040098463-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	FILM FORMING MATERIAL, FILM FORMING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号	KR20060029121(A)	申请公布日期	2006.04.04
申请号	KR20040098463	申请日期	2004.11.29
申请人	TRI CHEMICAL LABORATORIES INC.	发明人	MACHIDA HIDEAKI;OHSHITA YOSHIO;OGURA ATSUSHI;ISHIKAWA MASATO
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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