| 主权项 |
1.一种化学放大负型光阻组成物,其包含硷可溶性 树脂;交联剂;作为骤冷剂之含氮硷性有机化合物; 下式(I)所示之N-经取代琥珀醯亚胺化合物: 其中R系表示未经取代或经取代之烷基及脂环族烃 残基、芳基或樟脑基,及 下式(IV)所示之磺酸酯化合物: 其中R11系表示不经取代或经取代之烷基、脂环族 烃残基、芳基或樟脑基,且R12、R13及R14系个别表示 氢、卤素、烷基、烷氧基或经烷基取代之胺基, 其中该硷可溶性树脂系包含 (i)重量平均分子量为900或更低之酚醛清漆树脂以 及一种酚醛清漆树脂,其GPC图型中对应于分子量为 1,000或较低之聚合物的图型面积系为图型总面积 之25百分比或较低,不包括作为原料之未反应酚化 合物的面积,而具有重量平均分子量5,000或更高,及 /或 (ii)聚乙烯基酚或其部分经烷基醚化之产物, 其中该交联剂系为下式(Ⅲ)所示之三聚氰胺化合 物: R2、R3、R4、R5、R6及R7中至少一基团系个别表示基 团-CH2OR8,其中R8系表示氢或烷基,而R2、R3、R4、R5、 R6及R7中之其余者系表示氢。 2.如申请专利范围第1项之化学放大负型光阻组成 物,其中该式(I)所示之N-经取代琥珀醯亚胺化合物 系选自 N-(乙基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(异丙基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(丁基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(己基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(三氟甲基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(氯甲基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(环己基甲基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(环己基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(苯基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(对-或邻-甲苯磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(2,5-苯二甲基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(4-乙基苯基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(2,4,6-三甲基苯基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(2,4,6-三异丙基苯基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(4-甲氧苯基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(4-氯苯基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(2,4,5-三氯苯基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(2-或4-硝基苯基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(4-甲氧基-2-硝基苯基磺醯氧基)琥珀醯亚胺, N-(1-基磺醯氧基)琥珀醯亚胺,及 N-(10-樟脑磺醯氧基)琥珀醯亚胺。 3.如申请专利范围第1项之化学放大负型光阻组成 物,其另外包含对于远紫外光、电子束或X-射线敏 感之化合物。 |
