An equipment for semiconductor device fabrication including bellows and bellows cover,申请号KR20030068355-传众专利搜索

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发明名称	An equipment for semiconductor device fabrication including bellows and bellows cover
摘要
申请公布号	KR100562270(B1)	申请公布日期	2006.03.22
申请号	KR20030068355	申请日期	2003.10.01
申请人		发明人
分类号	H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
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