发明名称 DARK FIELD IMAGING DEVICE FOR THE SPATIALLY-RESOLVED DARK FIELD IMAGING OF A SAMPLE AND EXAMINATION METHOD
摘要
申请公布号 EP1523667(B1) 申请公布日期 2006.03.15
申请号 EP20020802969 申请日期 2002.11.08
申请人 LOSSAU, HARALD, DR. 发明人 LOSSAU, HARALD;MUSEWALD, CHRISTIAN
分类号 G01N21/64 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人
主权项
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