| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUR MESSUNG ODER MASCHINELLEN BEARBEITUNG EINES OBJEKTS MIT EINER VERSCHIEBUNGSSTUFE MIT KEILFÖRMIGEN FÜHRUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT318449(T) |
申请公布日期 |
2006.03.15 |
| 申请号 |
AT20020769194T |
申请日期 |
2002.05.06 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
RUIJL, THEO, A., J. |
| 分类号 |
G01B21/00;H01L21/00;H01L21/68;H05K13/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
G01B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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