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发明名称 FLOW CONTROL VALVE WITH MAGNETIC FIELD SENSOR
摘要
申请公布号 EP1634132(A2) 申请公布日期 2006.03.15
申请号 EP20040754073 申请日期 2004.06.01
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 BESEN, MATTHEW, M.
分类号 H01F7/18;H01F7/08;(IPC1-7):G05F7/00 主分类号 H01F7/18
代理机构 代理人
主权项
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