发明名称
摘要
申请公布号 JP3754184(B2) 申请公布日期 2006.03.08
申请号 JP19970207177 申请日期 1997.07.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L29/786;G02F1/1362;H01L21/203;H01L21/336 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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