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发明名称
摘要
申请公布号
JP3754184(B2)
申请公布日期
2006.03.08
申请号
JP19970207177
申请日期
1997.07.16
申请人
发明人
分类号
H01L21/20;H01L29/786;G02F1/1362;H01L21/203;H01L21/336
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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