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发明名称 FORMATION OF SUB-GROUNDRULE FEATURES
摘要
申请公布号 KR100536051(B1) 申请公布日期 2006.02.28
申请号 KR19980024785 申请日期 1998.06.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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