| 发明名称 | 目视确认装置和检查系统 | ||
| 摘要 | 一种目视确认装置和检查系统，通过提供适宜操作者检查基板缺陷的照明，能提高操作者确认缺陷时的作业效率。在目视确认装置的控制部设置照明控制部(486)。在照明控制部(486)设置方向确定部(486a)和光量确定部(486b)。将照明机构(46)制成为环状配置多个光源的分割环形照明。方向确定部(486a)和光量确定部(486b)根据作为有关缺陷的信息的缺陷数据(100)确定照明方向和照明光量。照明控制部(486)通过选择照明机构(46)的多个光源中点亮的光源来控制照明机构(46)，使得成为方向确定部(486a)确定的照明方向。控制照明机构，使点亮的光源的光量成为光量确定部(486b)确定的照明光量。 | ||
| 申请公布号 | CN1737548A | 申请公布日期 | 2006.02.22 |
| 申请号 | CN200510071396.X | 申请日期 | 2005.05.20 |
| 申请人 | 大日本网目版制造株式会社 | 发明人 | 三田章生 |
| 分类号 | G01N21/956(2006.01);H05B37/02(2006.01);H05B41/36(2006.01) | 主分类号 | G01N21/956(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 高龙鑫;王玉双 |
| 主权项 | 1.一种目视确认装置，用于操作者确认基板的缺陷，其特征在于，具有：保持基板的保持装置；向被上述保持装置保持的上述基板照射照明光的照明装置；将有关上述基板的缺陷的信息作为缺陷信息而获取的信息获取装置；根据由上述信息获取装置获取的上述缺陷信息控制上述照明装置的照明控制装置；将被上述照明装置照明了的状态的上述基板的缺陷的像提供给上述操作者的提供装置。 | ||
| 地址 | 日本京都府京都市 | ||