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Ein Interferometersystem zum Messen einer Verschiebung entlang einer ersten Richtung umfasst (1) eine Messungsdachoptik (z. B. ein Porroprisma), die an einer Stufe befestigt ist, die entlang der ersten Richtung translatorisch bewegbar ist, (2) einen Polarisationsstrahlteiler, der (a) eine erste Fläche gegenüber der Messungsdachoptik und (b) eine zweite Fläche gegenüber der ersten Fläche aufweist, (3) eine erste Wellenplatte, die zwischen der Messungsdachoptik und der ersten Fläche des Polarisationsstrahlteilers positioniert ist, und (4) eine Umleitoptik, die gegenüber der ersten Fläche des Polarisationsstrahlteilers positioniert ist. Ein Messungsweg durch das System umfasst lediglich Segmente, die im Wesentlichen in einer Ebene positioniert sind, die durch die erste Richtung und eine zweite Richtung orthogonal zu der ersten Richtung definiert sind.
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