发明名称 CHEMICAL MEASURING SUPPLY APPARATUS FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060011433(A) 申请公布日期 2006.02.03
申请号 KR20040060279 申请日期 2004.07.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, HEUNG IL
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址