半导体制造参数之仓储管理方法、系统以及储存执行此方法之电脑程式的储存媒体

摘要

本发明提出一种半导体制造参数之仓储管理方法。首先，由制程工具收集半导体制造参数。然后，将所收集之半导体制造参数储存于储存实体之第一预定区域中，直到半导体制造参数于第一预定区域中完成储存。接着，依序存取储存实体之第一预定区域中之半导体制造参数。最后，完成半导体制造参数于第一预定区域之储存工作后，储存附加半导体制造参数于储存实体之第二预定区域中。