涂布装置及其方法

摘要

一种涂布装置，其包括一工作平台及一喷嘴涂布单元。该工作平台包括复数吹气孔，该喷嘴涂布单元包括一光阻涂布喷嘴及一光阻材料供应装置，该光阻涂布喷嘴位于工作平台上方，该光阻材料供应装置与光阻涂布喷嘴相连以提供光阻材料。本发明还提供一种采用该涂布装置涂布光阻材料之方法。