| 发明名称 | 配有恒磁材料透镜的粒子－光学装置 | ||
| 摘要 | 本发明描述了一种粒子－光学装置，该装置配置成：在两个粒子－光学透镜系统(10、20)的辅助下聚焦带电粒子束(1)。透镜作用由磁场实现，该磁场由恒磁材料(13、23)产生。与装配有线圈的磁透镜相比，在磁透镜装配恒磁材料的情况下，不容易通过改变聚焦磁场来改变光焦度。在本发明的装置中，通过改变粒子束(1)穿过透镜系统(10、20)时具有的能量来改变透镜系统的光焦度。容易通过改变电源(14、24)的电压来实现这种情况。 | ||
| 申请公布号 | CN1716512A | 申请公布日期 | 2006.01.04 |
| 申请号 | CN200510067028.8 | 申请日期 | 2005.04.21 |
| 申请人 | FEI公司 | 发明人 | B·布伊斯塞;T·H·J·比斯乔普斯;M·T·穆维塞 |
| 分类号 | H01J37/14(2006.01) | 主分类号 | H01J37/14(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 杨凯;张志醒 |
| 主权项 | 1.一种粒子-光学装置，该装置配置成：-在第一粒子-光学透镜系统和第二粒子-光学透镜系统的辅助下聚焦带电粒子束；-在所述透镜系统中，透镜作用至少部分地由磁场实现；-所述磁场由恒磁材料产生；其特征在于：-粒子束穿过所述第一透镜系统时具有的能量不同于粒子束穿过所述第二透镜系统所具有的能量。 | ||
| 地址 | 美国俄勒冈州 | ||