| 摘要 |
Установка (1) для генерации плазменного тлеющего разряда и/или диэлектрического барьерного разряда, содержащая по меньшей мере одну пару, по существу, удаленных на равное расстояние друг от друга электродов (2), причем расстояние между электродами приспособлено для формирования плазменной зоны (8) при введении технологического газа и обеспечении прохождения, при необходимости, газообразного, жидкого и/или твердого прекурсора (прекурсоров), отличающаяся тем, что по меньшей мере один из электродов (2) содержит корпус (20), имеющий внутреннюю (5) и внешнюю (6) стенку, причем внутренняя стенка (5) выполнена из непористого диэлектрического материала, а корпус (20), по существу, вмещает, по меньшей мере, по существу неметаллический электропроводящий материал.Международная заявка была опубликована вместе с отчетом о международном поиске. |
