主权项 |
1、一种带望远镜谐振腔的垂直外腔面发射半导体激光器,包括:泵浦光源(1)、窗口层(5)、光吸收层(6)、周期性多量子阱有源增益区(7)、半导体分布布拉格反射镜(8)、焊料(9)、散热片(10)、热沉(11)、导热胶(12),其特征在于还包括:外腔镜(2)、高反射介质膜(3)、增透膜(4)、微通道散热片(13),望远镜(14);外腔镜(2)的凹面与高反射介质膜(3)固定连接,窗口层(5)下端面与光吸收层(6)的上端面固定连接,光吸收层(6)下端面与周期性多量子阱有源增益区(7)的上端面固定连接,周期性多量子阱有源增益区(7)下端面与半导体分布布拉格反射镜(8)的上端面固定连接,半导体分布布拉格反射镜(8)下端面通过焊料(9)与散热片(10)的上端面固定连接,散热片(10)下端面通过焊料(9)与热沉(11)的上端面固定连接;其特征在于它还包括:增透膜(4)、微通道散热片(13)、望远镜(14);增透膜(4)与窗口层(5)的上端面固定连接;热沉(11)下端面通过导热胶12与微通道散热片(13)的上端面固定连接,外腔镜(2)与半导体分布布拉格反射镜(8)相隔20-50mm,构成激光器的外腔,在外腔中加入望远镜(14)就构成了望远镜谐振腔,外腔镜(2)上下两端固定在光学微调架上。这样就实现了一种带望远镜谐振腔的垂直外腔面发射半导体激光器。 |