加压装置、加压装置的控制方法及加压装置的热板

摘要

本发明提供一种加压装置、加压装置的控制方法及加压装置的热板，将电加热器游嵌在热板内的贯通孔中，由它们之间的间隙形成供热介质流过的加热流路。在热板上设置温度传感器，把其实测温度信号送到控制单元，计算实测温度与目标温度的差，根据该差值决定加热器所需的电力量。所需的电力输出信号送到可控硅单元，由可控硅调节电力的大小后供给加热器。通过该闭路反馈控制，抑制热板的温度偏差。用带密封垫的法兰部将电加热器的一端侧固定在热板本体上，并且，将另一端部插入支承部件的有底孔内，设定着它们的热膨胀差部分与大致0.2mm～0.4mm的半径方向间隙。在热介质油循环回路内循环的热介质油是硅系热介质油。

主权项

1.加压装置，在可接近分离的一对平板间设置热板，把加热器插入形成在该热板内部的孔中，在该加热器的外周部分与上述孔内周壁之间形成径方向间隙，该间隙形成供热介质流过的环状断面加热流路，用上述加热器加热该加热流路内的热介质，将上述热板加热；其特征在于，备有温度传感器、控制单元和可控硅单元；上述温度传感器检测与热板温度有关的温度，输出实测温度信号；上述控制单元接受上述实测温度信号，计算实测温度与目标温度的差，根据该差值决定上述加热器的加热所需的电力量，输出所需的电力输出信号，执行反馈控制；上述可控硅单元具有可控硅，根据上述控制单元输出的所需电力输出信号，一边由可控硅调节供给电力的大小、一边将该电力供给上述加热器。