用于涂覆作业的溅射阴极

摘要

用于真空腔室里的涂覆的溅射阴极有至少整体的靶板，它装在金属隔膜上。在隔膜的背对靶板的那侧有冷却液通道，它具有冷却液输入管路和输出管路和用于至少一个磁系统的空腔。磁系统布置在相对隔膜密封的支承槽里并不受冷却液作用。整个组件布置在支承结构上。为了以简单、有效和经济的方式改善从靶板至冷却液的传热并避免冷却液进入真空腔室里，本发明规定：溅射阴极的支承结构具有中空体，它相对真空腔室的内腔被气密封闭而且它使围绕磁系统的空腔与在真空腔室外的大气连通；冷却液通道成具有至少一个平侧面且在横断面周边上是封闭的导管，该平侧面与隔膜导热连接；隔膜和导管的背离隔膜的表面通过支承结构承受在真空腔室外的大气压作用。

主权项

1.用于在真空腔室(18)里的涂覆作业的溅射阴极，它具有一个至少是整体的靶板(2)，该靶板装在金属隔膜(3)上，在该隔膜的背对该靶板(2)的一侧有一条冷却液通道，该冷却液通道具有冷却液的输入管路(9)及输出管路(10)以及用于至少一个磁系统(5)的空腔(7)，该磁系统(5)布置在一个相对该隔膜(3)密封的支承槽(6)里并且不受冷却液体的作用，整个组件被布置在一个支承结构(12)里，其特征在于，a)该溅射阴极(1)的支承结构(12)具有一个中空体(13)，它相对该真空腔室(18)的内腔被气密封闭着并且它将围绕该磁系统(5)的空腔(7)与在该真空腔室(18)外的大气连通起来，b)该冷却液通道被设计成具有至少一个平侧面(4a)的且在其横断面周边上是封闭的导管(4)，该平侧面与该隔膜(3)处于导热连接；c)该隔膜(3)和该导管(4)的背离该隔膜(3)的表面通过所述支承结构(12)承受在该真空腔室(18)外的大气压的作用。