发明名称 IN-LINE TYPED APPARATUS FOR AUTO WAFER-DEFECT CLASSIFICATION AND CONTROL METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20050120420(A) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 KR20040045747 申请日期 2004.06.18
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JEING, YU HAN;KIM, KWANG SOO;SHIN, KOUNG SU;CHOI, SEUNG MIN
分类号 H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28;G06F19/00;G06T7/00;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址