发明名称 Apparatus for the synthesis of layers, coatings or films
摘要
申请公布号 AU2002334597(B2) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 AU20020334597 申请日期 2002.09.18
申请人 HELIOVOLT CORPORATION 发明人 BILLY J STANBERRY
分类号 H01L31/18;H01L31/032;H01L31/0336 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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