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发明名称 HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050120492(A) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 KR20040045856 申请日期 2004.06.19
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, TAE GYU;LEE, DONG WOO;LEE, JIN SUNG;PARK, TAE SANG;LEE, BANG WEON
分类号 H01L21/324;B05B7/04;B41J2/04;H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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