| 主权项 |
1.一种微影装置,其包括:-一用以提供一辐射之投影束的照明系统;-一用以支撑图案化构件之支撑结构,该图案化构件用以在该投影束之横截面上赋予一图案;-一用以固持一基板之基板台;及-一用以将该图案化束投影至该基板之一目标区上之投影光学总成,该总成包括复数个可移动光学元件及复数个用以感测一各别光学元件之位置及/或定向之感测器单元,该等可移动光学元件以一间隔关系排列于一支撑框架上,其特征在于该支撑框架包括一至少两个互连区段之总成,每一该等区段以可移动之方式安装有至少一个该等光学元件且以固定方式安装有至少一个该等感测器单元,其中该等至少两个互连区段用作一参考及安装框架,其中该等光学元件以该间隔关系进行安装。2.一种微影装置,其包括:-一用以提供一辐射之投影束的照明系统;-一用以支撑图案化构件之支撑结构,该图案化构件用以在该投影束之横截面上赋予一图案;-一用以固持一基板之基板台;及-一用以将该图案化束投影至该基板之一目标区上之投影光学总成,该总成包括复数个可移动光学元件及复数个用以感测一各别光学元件之位置及/或定向之感测器单元,该等可移动光学元件以一间隔关系排列于一支撑框架上,其特征在于该等光学元件以可移动之方式安装且该等感测器单元以固定方式安装于一单个支撑框架上,其中该支撑框架包括一区段,其用作一参考及安装框架,其中该等光学元件以该间隔关系进行安装。3.如请求项1或2之微影装置,其中该(等)感测器单元直接安装于该(等)区段之内或之上一预定位置处。4.如请求项1之微影装置,其中该等复数个区段被调适成以一堆叠排列之方式彼此互连。5.如请求项1或4之微影装置,其中该支撑框架包括三个区段,其中两个该等复数个光学元件安装于至少每两个该等区段中。6.如请求项3之微影装置,其中该感测器单元感测该各别光学元件相对于一位于该(等)区段之上或之内的参考表面之该位置及/或定向,且其中该(等)区段具备一形成于该(等)区段内、用以容纳该感测器单元之介面表面,其中该介面表面被安置于该预定位置处,该预定位置是相对于该参考表面而预定的。7.如请求项1之微影装置,其中该支撑框架包括复数个插件,其中该等插件被调适成安置于该等区段之间以在使用过程中形成一介面区,使得在组装状态中该等插件彼此接触,其中由该等接触插件所界定之一表面之至少一部分形成一参考表面。8.如请求项1或2之微影装置,其中该(等)区段以固定方式支撑一耦接至该等复数个光学元件中之该各别一个的致动器,该致动器回应一感测器单元用以将该光学元件移动至一预定位置。9.如请求项1或2之微影装置,其中该等区段在组装时在一大体上水平之平面内相互介面连接。10.一种组装一用于一微影装置之投影光学总成的方法,该方法包括以下步骤:-提供复数个可互连之区段;-在每一区段上以可移动之方式安装复数个以一相对于彼此之间隔关系安置的光学元件,且以固定方式安装至少一个感测元件以感测该等复数个该等以可移动之方式安装的光学元件中之一个的该位置及/或定向;及-互连该等区段以至少部分形成一单个可分段支撑框架,其用作一参考及安装框架,其中该等光学元件以该间隔关系进行安装。11.一种组装一用于一微影装置之投影光学总成的方法,该方法包括以下步骤:-提供一包括一区段之单个支撑框架,该区段用作复数个以一相对于彼此之间隔关系安置之光学元件及一与该等复数个光学元件中之一个相关并用以确定该等可移动光学元件之一位置及/或定向的感测器单元的一参考及安装框架;-在该框架上以可移动之方式安装该等复数个光学元件且以固定方式安装该感测器单元。12.一种器件制造方法,其包括以下步骤:-提供一基板;-使用一照明系统提供一辐射之投影束;-使用图案化构件在该投影束之横截面上赋予一图案;及-使用如请求项1或2之一投影光学总成将该图案化辐射束投影至该基板之一目标区上。图式简单说明:图1描绘一根据本发明之一实施例的微影装置;图2a描绘一根据本发明之一实施例的投影光学总成;图2b描绘一根据本发明之另一实施例的投影光学总成;图3描绘图2a或2b中所描绘之投影光学总成穿过线I-I的横截面;图4描绘一投影光学总成之支撑框架的细节;及图5描绘一投影光学总成之另外细节。 |
