单酸微量添加装置及方法

摘要

本发明公开一种单酸微量添加装置，其包括一蚀刻单元与一监测添加单元，该蚀刻单元包括一蚀刻室与一混酸槽；该监测添加单元包括一单酸测酸仪器、一单酸补充演算器及一单酸添加槽；该单酸测酸仪器与该混酸槽相连，该单酸补充演算器与该单酸测酸仪器及单酸添加槽相连，单酸添加槽又与混酸槽相连；该混酸槽、单酸测酸仪器、单酸补充演算器及单酸添加槽首尾相连并构成单酸微量添加闭合控制回路。

主权项

1.一种单酸微量添加装置，包括一蚀刻单元与一监测添加单元，该蚀刻单元包括一蚀刻室与一混酸槽；该监测添加单元包括一单酸测酸仪器，该单酸测酸仪器与该混酸槽相连；其特征在于：该监测添加单元还包括一单酸补充演算器及一单酸添加槽；该单酸补充演算器与该单酸测酸仪器及单酸添加槽相连，单酸添加槽又与混酸槽相连；该混酸槽、单酸测酸仪器、单酸补充演算器及单酸添加槽首尾相连并构成单酸微量添加闭合控制回路。