溅射离子泵的磁组件

摘要

一种离子泵包括一个或多个阳极泵室、接近所述一个或多个阳极泵室放置的阴极和用于在所述一个或多个阳极泵室中产生磁场的磁组件。在所述阴极和所述一个或多个阳极泵室之间施加有电场。磁组件包括被布置在所述阳极泵室的相对端部上的极性相反的初级磁体以及被布置在所述阳极泵室的相对侧面上的次级磁体。所述磁组件还可以包括提供磁通返回路径的磁轭。磁组件在所述一个或多个阳极泵室中产生基本一致的轴向磁场。

主权项

1.一种在离子泵中使用的磁组件，包括：具有第一和第二侧面以及第一和第二端部的磁轭，所述第一和第二侧面以及所述第一和第二端部界定了一个内部区域；被布置在所述磁轭的所述第一和第二端部上的极性相反的主磁体；和被布置在所述磁轭的所述第一和第二侧面上的次级磁体。